05.05.2025

XPlanar: Innovativer Wafer Handler

Entdecken Sie das XPlanar-System von Beckhoff, die zukunftsweisende Lösung für die Wafer-Handhabung in der Halbleiterindustrie. Mit berührungsloser, magnetischer Levitation ermöglicht das System flexible und präzise Bewegungen, die die Effizienz und Sicherheit im Produktionsprozess steigern. Das XPlanar-System reduziert mechanische Komplexität und Verschleiß und bietet verbesserte Prozesssicherheit.

Weitere Informationen zu diesem Video

XPlanar | Planarmotorantriebssystem

XPlanar | Planarmotorantriebssystem

Multi-Mover-2D-Produktbewegung mit bis zu sechs Freiheitsgraden – schwebend, kontaktlos und intelligent!

Halbleiterindustrie

Halbleiterindustrie

PC- und EtherCAT-basierte Automatisierung für die Halbleiterindustrie.